Применение импульсного фотонного отжига для создания тонких пленок силицидов переходных металлов
Bibliographic entry
Чапланов, А. М. Применение импульсного фотонного отжига для создания тонких пленок силицидов переходных металлов / А. М. Чапланов, М. И. Маркевич, Е. Н. Щербакова // Белорусская инновационная неделя. Форум «Беларусь — Иран». Научно-практический семинар «Состояние и перспективы совместных белорусско-иранских исследований в области био- и нанотехнологий, электроники и озеленения». – 2011.
Collections
- 2011[127]