Технологии формирования тонкопленочных наноразмерных систем

dc.contributor.author	Овчинников, Е. В.	ru
dc.date.accessioned	2012-04-20T07:55:56Z
dc.date.available	2012-04-20T07:55:56Z
dc.date.issued	2011
dc.identifier.citation	Овчинников, Е. В. Технологии формирования тонкопленочных наноразмерных систем / Е. В. Овчинников // Белорусская инновационная неделя. Форум «Беларусь — ЕС». Научно-практический семинар «Взаимодействие белорусских и литовских организаций в сфере нано- и биотехнологий, оптики, машиностроения, медицины». – 2011.	ru
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/2407
dc.language.iso	ru	ru
dc.title	Технологии формирования тонкопленочных наноразмерных систем	ru
dc.type	Working Paper	ru