Легирование поверхностного слоя пластин кремния при воздействии компрессионных плазменных потоков
Bibliographic entry
Асташинский, В. М. Легирование поверхностного слоя пластин кремния при воздействии компрессионных плазменных потоков / В. М. Асташинский, Р. С. Кудактин // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 13-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2015. - Т. 4. - С. 193-194.