Технологический процесс формирования бездефектных эпитаксиальных структур карбида кремния на подложке кремния
| dc.contributor.author | Заневский, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2016-09-22T05:57:08Z | |
| dc.date.available | 2016-09-22T05:57:08Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.identifier.citation | Заневский, В. А. Технологический процесс формирования бездефектных эпитаксиальных структур карбида кремния на подложке кремния / В. А. Заневский, Е. Н. Щербакова // Новые направления развития приборостроения : материалы 9-й международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, Минск, 20–22 апреля 2016 г. : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2016. – Т. 1. - С. 266-267. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/25085 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Технологический процесс формирования бездефектных эпитаксиальных структур карбида кремния на подложке кремния | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
