Применение спектроскопии комбинационного рассеяния света для анализа напряжений в полупроводниковых структурах
| dc.contributor.author | Андрияш, А. С. | ru |
| dc.contributor.author | Кипарин, А. И. | ru |
| dc.contributor.author | Кулешов, Н. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2016-09-22T09:02:20Z | |
| dc.date.available | 2016-09-22T09:02:20Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.identifier.citation | Андрияш А.С. Применение спектроскопии комбинационного рассеяния света для анализа напряжений в полупроводниковых структурах / А. С. Андрияш, А. И. Кипарин, Н. В. Кулешов // Новые направления развития приборостроения : материалы 9-й международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, Минск, 20–22 апреля 2016 г. : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2016. – Т. 2. - С. 17-18. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/25112 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Применение спектроскопии комбинационного рассеяния света для анализа напряжений в полупроводниковых структурах | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
