Влияние технологических параметров процесса осаждения на свойства защитных наноструктурированных покрытий Ti-Al-N
Bibliographic entry
Климович, И. М. Влияние технологических параметров процесса осаждения на свойства защитных наноструктурированных покрытий Ti-Al-N / И. М. Климович, В. В. Пилько, В. А. Зайков // Новые направления развития приборостроения : материалы 9-й международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, Минск, 20–22 апреля 2016 г. : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2016. – Т. 2. - С. 108.