Визуализация пространственного распределения примеси железа в кремнии на основе методов зондовой электрометрии
| dc.contributor.author | Воробей, Р. И. | ru |
| dc.contributor.author | Жарин, А. Л. | ru |
| dc.contributor.author | Микитевич, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Тявловский, А. К. | ru |
| dc.contributor.author | Тявловский, К. Л. | ru |
| dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2016-10-04T11:39:44Z | |
| dc.date.available | 2016-10-04T11:39:44Z | |
| dc.date.issued | 2015 | |
| dc.identifier.citation | Визуализация пространственного распределения примеси железа в кремнии на основе методов зондовой электрометрии / Р. И. Воробей [и др.] // Приборостроение-2015 : материалы 8-й международной научно-технической конференции, Минск, 25-27 ноября 2015 г. : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2015. – Т. 1. - С. 169-171. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/25559 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Визуализация пространственного распределения примеси железа в кремнии на основе методов зондовой электрометрии | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
