Исследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрии
| dc.contributor.author | Вабищевич, С. А. | ru |
| dc.contributor.author | Вабищевич, Н. В. | ru |
| dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | ru |
| dc.contributor.author | Просолович, В. С. | ru |
| dc.contributor.author | Янковский, Ю. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Черный, В. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2016-10-05T06:43:42Z | |
| dc.date.available | 2016-10-05T06:43:42Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.identifier.citation | Исследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрии / С. А. Вабищевич [и др.] // Приборостроение-2015 : материалы 8-й международной научно-технической конференции, Минск, 25-27 ноября 2015 г. : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2015. – Т. 1. - С. 208-209. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/25578 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Исследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрии | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
