Очистка поверхности подложек для нанесения покрытий вакуумно-плазменными методами
Date
2016Publisher
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc
621Bibliographic entry
Шидловский, И. И. Очистка поверхности подложек для нанесения покрытий вакуумно-плазменными методами / И. И. Шидловский, И. А. Иванов // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы XII Республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов БНТУ (72-й студенческой научно-технической конференции БНТУ), Минск, 19–20 мая 2016 г.: в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: С. А. Иващенко [и др.]. – Минск, 2016. – Ч. 2. - С. 207-211.