Получение высокочистого кремния из моносилана
dc.contributor.author | Кривошеев, Ю. К. | ru |
dc.coverage.spatial | Минск | ru |
dc.date.accessioned | 2017-02-01T06:47:15Z | |
dc.date.available | 2017-02-01T06:47:15Z | |
dc.date.issued | 2016 | |
dc.identifier.citation | Кривошеев, Ю. К. Получение высокочистого кремния из моносилана / Ю. К. Кривошеев // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 14-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2016. - Т. 1. - С. 205. | ru |
dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/27539 | |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БНТУ | ru |
dc.title | Получение высокочистого кремния из моносилана | ru |
dc.type | Working Paper | ru |