Методы и средства фотостимулированной зондовой электрометрии для контроля параметров полупроводниковых пластин
| dc.contributor.author | Жарин, А. Л. | ru |
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Воробей, Р. И. | ru |
| dc.contributor.author | Гусев, О. К. | ru |
| dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Солодуха, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Тявловский, А. К. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2017-02-28T12:07:12Z | |
| dc.date.available | 2017-02-28T12:07:12Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.identifier.citation | Методы и средства фотостимулированной зондовой электрометрии для контроля параметров полупроводниковых пластин / А. Л. Жарин [и др.] // Приборостроение-2016 : материалы 9-й международной научно-технической конференции, Минск, 23-25 ноября 2016 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2016. – С. 12-14. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/28417 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Методы и средства фотостимулированной зондовой электрометрии для контроля параметров полупроводниковых пластин | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
