Трансформация спектров отражения пленок фоторезиста на кремнии при γ-облучении и ионной имплантации
| dc.contributor.author | Бумай, Ю. А. | ru |
| dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | ru |
| dc.contributor.author | Харченко, А. А. | ru |
| dc.contributor.author | Лукашевич, М. Г. | ru |
| dc.contributor.author | Просолович, В. С. | ru |
| dc.contributor.author | Оджаев, В. Б. | ru |
| dc.contributor.author | Янковский, Ю. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2017-03-27T12:23:51Z | |
| dc.date.available | 2017-03-27T12:23:51Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.identifier.citation | Трансформация спектров отражения пленок фоторезиста на кремнии при γ-облучении и ионной имплантации / Ю. А. Бумай [и др.] // Приборостроение-2016 : материалы 9-й международной научно-технической конференции, Минск, 23-25 ноября 2016 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2016. – С. 276-277. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/28918 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Трансформация спектров отражения пленок фоторезиста на кремнии при γ-облучении и ионной имплантации | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
