Show simple item record

Технология легирования для формирования структур с глубокими многозарядными примесями

dc.contributor.authorВоробей, Р. И.ru
dc.contributor.authorГусев, О. К.ru
dc.contributor.authorСвистун, А. И.ru
dc.contributor.authorТявловский, А. К.ru
dc.contributor.authorТявловский, К. Л.ru
dc.contributor.authorШадурская, Л. И.ru
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2017-03-27T12:50:03Z
dc.date.available2017-03-27T12:50:03Z
dc.date.issued2016
dc.identifier.citationТехнология легирования для формирования структур с глубокими многозарядными примесями / Р. И. Воробей [и др.] // Приборостроение-2016 : материалы 9-й международной научно-технической конференции, Минск, 23-25 ноября 2016 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2016. – С. 292-294.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/28930
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleТехнология легирования для формирования структур с глубокими многозарядными примесямиru
dc.typeWorking Paperru


Files in this item

Thumbnail
Name:
292-294.pdf
Size:
162.7Kb
Format:
PDF
View/Open

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record