Формирование межуровневого диэлектрика прямым осаждением из ионных пучков
| dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | ru |
| dc.contributor.author | Вашуров, А. Ю. | ru |
| dc.contributor.author | Святохо, С. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2017-03-30T12:05:31Z | |
| dc.date.available | 2017-03-30T12:05:31Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.identifier.citation | Телеш, Е. В. Формирование межуровневого диэлектрика прямым осаждением из ионных пучков / Е. В. Телеш, А. Ю. Вашуров, С. В. Святохо // Приборостроение-2016 : материалы 9-й международной научно-технической конференции, Минск, 23-25 ноября 2016 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2016. – С. 387-389. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/29183 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Формирование межуровневого диэлектрика прямым осаждением из ионных пучков | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
