Исследование влияния режимов ионно-лучевого распыления на стехиометрию пленок диоксида кремния
Bibliographic entry
Телеш, Е. В. Исследование влияния режимов ионно-лучевого распыления на стехиометрию пленок диоксида кремния / Е. В. Телеш, О. В. Гуревич //Приборостроение-2016 : материалы 9-й международной научно-технической конференции, Минск, 23-25 ноября 2016 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2016. – С. 389-391.