Использование низкоразмерного кремния в производстве изделий микро- и наноэлектроники
Authors
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2016Publisher
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc
621.38Bibliographic entry
Ковалевич, В. С. Использование низкоразмерного кремния в производстве изделий микро- и наноэлектроники / В. С. Ковалевич ; науч. рук. Е. И. Германович // Актуальные проблемы энергетики : материалы 72-й научно-технической конференции студентов и аспирантов / Белорусский национальный технический университет, Энергетический факультет. – Минск : БНТУ, 2016. – С. 647-650.