Стабилизация тлеющего разряда в генераторах парогазовой смеси для легирования эпитаксиальных слоев кремния
| dc.contributor.author | Боярщонок, Е. В. | ru |
| dc.contributor.author | Шадурская, Л. И. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2017-06-19T10:49:00Z | |
| dc.date.available | 2017-06-19T10:49:00Z | |
| dc.date.issued | 2017 | |
| dc.identifier.citation | Боярщонок, Е. В. Стабилизация тлеющего разряда в генераторах парогазовой смеси для легирования эпитаксиальных слоев кремния / Е. В. Боярщонок, Л. И. Шадурская // Новые направления развития приборостроения : материалы 10-й международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, Минск, 26−28 апреля 2017 г. : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2017. – Т. 1. - С. 20. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/30740 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Стабилизация тлеющего разряда в генераторах парогазовой смеси для легирования эпитаксиальных слоев кремния | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
