Планарный источник плазмы высокой плотности
| dc.contributor.author | Артюх, Е. А. | ru |
| dc.contributor.author | Никитюк, С. А. | ru |
| dc.contributor.author | Котов, Д. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2017-06-26T11:47:40Z | |
| dc.date.available | 2017-06-26T11:47:40Z | |
| dc.date.issued | 2017 | |
| dc.identifier.citation | Артюх, Е. А. Планарный источник плазмы высокой плотности / Е. А. Артюх, С. А. Никитюк, Д. А. Котов // Новые направления развития приборостроения : материалы 10-й международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, Минск, 26−28 апреля 2017 г. : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2017. – Т. 1. - С. 281. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/31141 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Планарный источник плазмы высокой плотности | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
