Протяженный источник ионов для обработки в вакууме
Bibliographic entry
Занько, А. И. Протяженный источник ионов для обработки в вакууме / А. И. Занько, Б. М. Шандарович, Д. А. Котов // Новые направления развития приборостроения : материалы 10-й международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, Минск, 26−28 апреля 2017 г. : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2017. – Т. 1. - С. 279.