Моделирование лазерно-индуцированных процессов в пленках TiAlN на кремниевых подложках
Bibliographic entry
Гацкевич, Е. И. Моделирование лазерно-индуцированных процессов в пленках TiAlN на кремниевых подложках / Е. И. Гацкевич, Г. Д. Ивлев // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 14-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2016. - Т. 3. - С. 400.