Разработка принципов зондовой электрометрии на основе невибрирующего зонда Кельвина

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-supervisor

Тявловский, А. К.

Date

2012

Publisher

БНТУ

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc

539.21:537.86; 681.2-027.

Another Title

Отчет о НИР (заключительный) :168

Bibliographic entry

Разработка принципов зондовой электрометрии на основе невибрирующего зонда Кельвина: отчет о НИР (заключительный) : 168 / Белорусский национальный технический университет; рук. Тявловский А. К., исполн. Свистун А. И., исполн. Яржембицкая Н. В. [и др.]. – Минск, 2012. – 54 с. – Библиогр.: С. 49-54. - № ГР 20101661

Abstract

Объектом исследования являются принципы зондовой электрометрии на основе невибрирующего зонда Кельвина, их теоретическое обоснование и способы практической реализации. Целью работы является разработка физических основ для создания новых методов и средств измерений и неразрушающего контроля параметров прецизионных поверхностей, включая поверхности с проводящими, полупроводниковыми и диэлектрическими свойствами.