Дисилицид титана в микроэлектронике
| dc.contributor.author | Мочалов, И. В. | ru |
| dc.contributor.author | Якубов, Ю. В. | ru |
| dc.contributor.author | Чапланов, А. М. | ru |
| dc.contributor.author | Маркевич, М. И. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2018-01-12T06:34:40Z | |
| dc.date.available | 2018-01-12T06:34:40Z | |
| dc.date.issued | 2010 | |
| dc.identifier.citation | Дисилицид титана в микроэлектронике / И. В. Мочалов [и др.] // Новые направления развития приборостроения : материалы 3-й Международной студенческой научно-технической конференции, 21-23 апреля 2010 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. - Минск : БНТУ, 2010. - С. 236. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/36549 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Дисилицид титана в микроэлектронике | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
