Методологические направления нетрадиционной эллипсометрии
| dc.contributor.author | Скалецкая, И. Е. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2018-02-05T06:22:57Z | |
| dc.date.available | 2018-02-05T06:22:57Z | |
| dc.date.issued | 2017 | |
| dc.identifier.citation | Скалецкая, И. Е. Методологические направления нетрадиционной эллипсометрии / И. Е. Скалецкая // Приборостроение - 2017 : материалы 10-й Международной научно-технической конференции, 1-3 ноября 2017 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. - Минск : БНТУ, 2017. - С. 158-160. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/37257 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Методологические направления нетрадиционной эллипсометрии | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
