Исследование поверхностных структур, образующихся на поверхности пластин монокристаллического кремния в результате предварительной имплантации водорода или гелия и последующей плазменной обработки
| dc.contributor.author | Францкевич, Н. В. | ru |
| dc.contributor.author | Францкевич, А. В. | ru |
| dc.contributor.author | Шеденков, С. И. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2018-02-06T08:14:01Z | |
| dc.date.available | 2018-02-06T08:14:01Z | |
| dc.date.issued | 2017 | |
| dc.identifier.citation | Францкевич, Н. В. Исследование поверхностных структур, образующихся на поверхности пластин монокристаллического кремния в результате предварительной имплантации водорода или гелия и последующей плазменной обработки / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, С. И. Шеденков // Приборостроение - 2017 : материалы 10-й Международной научно-технической конференции, 1-3 ноября 2017 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. - Минск : БНТУ, 2017. - С. 206-208. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/37303 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Исследование поверхностных структур, образующихся на поверхности пластин монокристаллического кремния в результате предварительной имплантации водорода или гелия и последующей плазменной обработки | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
