Влияние вида основной легирующей примеси в кремнии на эффективность диффузии иттербия
![Thumbnail](/bitstream/handle/data/37330/Vliyanie_vida_osnovnoj_legiruyushchej_primesi_v_kremnii_na_ehffektivnost_diffuzii_itterbiya.pdf.jpg?sequence=2&isAllowed=y)
Date
2017Publisher
Bibliographic entry
Влияние вида основной легирующей примеси в кремнии на эффективность диффузии иттербия / Д. И. Бринкевич [и др.] // Приборостроение - 2017 : материалы 10-й Международной научно-технической конференции, 1-3 ноября 2017 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. - Минск : БНТУ, 2017. - С. 236-238.