Формирование покрытий из TiBN реактивным ионно-лучевым распылением составной мишени
Bibliographic entry
Телеш, Е. В. Формирование покрытий из TiBN реактивным ионно-лучевым распылением составной мишени / Е. В. Телеш // Приборостроение - 2017 : материалы 10-й Международной научно-технической конференции, 1-3 ноября 2017 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. - Минск : БНТУ, 2017. - С. 286-287.