| dc.contributor.author | Якубовская, С. В. | ru |
| dc.contributor.author | Бабаскина, С. Ю. | ru |
| dc.contributor.author | Корбит, А. А. | ru |
| dc.contributor.author | Олехнович, О. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2013-01-24T12:37:22Z | |
| dc.date.available | 2013-01-24T12:37:22Z | |
| dc.date.issued | 2012 | |
| dc.identifier.citation | Влияние технологических параметров процесса алмазной механической обработки (полирования) кремниевых пластин (О 100 мм) на производительность процесса и качество пластин / С. В. Якубовская [и др.] // Инновационные технологии, автоматизация и мехатроника в машино- и приборостроении : материалы международной научно-практической конференции; Минск, 11 апреля 2012 года. - Минск : Бизнесофсет, 2012. – С. 181-182. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/3998 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Бизнесофсет | ru |
| dc.title | Влияние технологических параметров процесса алмазной механической обработки (полирования) кремниевых пластин (О 100 мм) на производительность процесса и качество пластин | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| dc.relation.book | Инновационные технологии, автоматизация и мехатроника в машино- и приборостроении : материалы международной научно-практической конференции; Минск, 11 апреля 2012 года. - Минск : Бизнесофсет, 2012. – С. 181-182. | ru |
