Влияние импульсного фотонного отжига на структуру и фазовый состав тонкопленочных систем на основе кремния и переходных металлов
Date
2012Publisher
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc
621.315:621.785.3Bibliographic entry
Маркевич, М. И. Влияние импульсного фотонного отжига на структуру и фазовый состав тонкопленочных систем на основе кремния и переходных металлов / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Наука и техника: международный научно-технический. – 2012. - № 5. - С. 13 - 16.
View/ Open
Collections
- №5[20]