Технологии нано- и микросистемной техники [Электронный ресурс] : учебно-методический комплекс для студентов спец. 1-38 01 04 "Микро- и наносистемная техника" / Белорусский национальный технический университет, Кафедра "Микро- и нанотехника" ; сост. Е. Н. Щербакова. – Минск : БНТУ, 2018.