Методология решения проблемы модернизации генератора парогазовых смесей для прецизионного лазерного легирования эпитаксиальных структур
| dc.contributor.author | Боярщонок, Е. В. | |
| dc.contributor.author | Лойко, А. И. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2018-08-15T10:00:12Z | |
| dc.date.available | 2018-08-15T10:00:12Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Боярщонок, Е. В. Методология решения проблемы модернизации генератора парогазовых смесей для прецизионного лазерного легирования эпитаксиальных структур / Е. В. Боярщонок, А. И. Лойко // Материалы Международной научно-технической конференции "Информационные технологии в технических, политических и социально-экономических системах" / Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 152. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/46253 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Методология решения проблемы модернизации генератора парогазовых смесей для прецизионного лазерного легирования эпитаксиальных структур | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
