Сублимационный метод выращивания эпитаксиальных слоев твердых растворов карбида кремния и нитрида алюминия
dc.contributor.author | Дювбакова, А. С. | |
dc.contributor.author | Колонтаева, Т. В. | |
dc.coverage.spatial | Минск | ru |
dc.date.accessioned | 2018-08-30T07:19:40Z | |
dc.date.available | 2018-08-30T07:19:40Z | |
dc.date.issued | 2018 | |
dc.identifier.citation | Дювбакова, А. С. Сублимационный метод выращивания эпитаксиальных слоев твердых растворов карбида кремния и нитрида алюминия / А. С. Дювбакова, Т. В. Колонтаева // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 196. | ru |
dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/46807 | |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БНТУ | ru |
dc.title | Сублимационный метод выращивания эпитаксиальных слоев твердых растворов карбида кремния и нитрида алюминия | ru |
dc.type | Working Paper | ru |