Электронно–стимулированное травление в микролитографии
dc.contributor.author | Лихачева, А. С. | |
dc.contributor.author | Ковалевская, А. В. | |
dc.coverage.spatial | Минск | ru |
dc.date.accessioned | 2018-08-30T08:16:04Z | |
dc.date.available | 2018-08-30T08:16:04Z | |
dc.date.issued | 2018 | |
dc.identifier.citation | Лихачева, А. С. Электронно–стимулированное травление в микролитографии / А. С. Лихачева, А. В. Ковалевская // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 209-210. | ru |
dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/46829 | |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БНТУ | ru |
dc.title | Электронно–стимулированное травление в микролитографии | ru |
dc.type | Working Paper | ru |