Изучение морфологии поверхности тонких пленок карбида кремния методом постоянной силы
| dc.contributor.author | Шаблюк, А. В. | |
| dc.contributor.author | Ковалевская, А. В. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2018-08-30T10:04:41Z | |
| dc.date.available | 2018-08-30T10:04:41Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Шаблюк, А. В. Изучение морфологии поверхности тонких пленок карбида кремния методом постоянной силы / А. В. Шаблюк, А. В. Ковалевская // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 228-229. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/46849 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Изучение морфологии поверхности тонких пленок карбида кремния методом постоянной силы | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
