Особенности получения изображений СБИС с использованием лазерного генератора
Bibliographic entry
Шабура, М. А. Особенности получения изображений СБИС с использованием лазерного генератора / М. А. Шабура, А. В. Ковалевская // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 231-232.