Оптические характеристики пленок полиимида, имплантированных ионами никеля

Abstract

Показано, что имплантация приводит к монотонному уменьшению коэффициента оптического пропускания вследствие процессов поглощения и рассеяния света в модифицированном слое полимера, содержащем наноразмерные включения углерода и никеля. Появление широкой полосы отражения в диапазоне 700-1100 нм при регистрации спектров отражения как с имплантированной, так и с обратной стороны полимера обусловлено высоким содержанием никеля в имплантированном слое. Путем моделирования прохождения света через двухслойную структуру модифицированный слой/полимерная основа с учетом многократного отражения света на границах раздела определен показатель преломления модифицированного имплантацией слоя полимера, который в зависимости от дозы имплантации изменяется в интервале 1.25- 2.32 на длине волны 620 нм.