Browsing 2018 by Author "Хорт, А. А."
Now showing items 1-1 of 1
-
Технологии и оборудование рентгеновской литографии и электронолитографии
Рохацевич, М. В.; Щербакова, Е. Н.; Хорт, А. А. (БНТУ, 2018)Рохацевич, М. В. Технологии и оборудование рентгеновской литографии и электронолитографии / М. В. Рохацевич, Е. Н. Щербакова, А. А. Хорт // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 221-222.2018-08-30