Метод бесконтактного измерения удельного электрического сопротивления барьерных слоев
dc.contributor.author | Воробей, Р. И. | |
dc.contributor.author | Гусев, О. К. | |
dc.contributor.author | Свистун, А. И. | |
dc.contributor.author | Тявловский, К. Л. | |
dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | |
dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | |
dc.coverage.spatial | Минск | ru |
dc.date.accessioned | 2019-04-12T07:51:21Z | |
dc.date.available | 2019-04-12T07:51:21Z | |
dc.date.issued | 2018 | |
dc.identifier.citation | Метод бесконтактного измерения удельного электрического сопротивления барьерных слоев / Р. И. Воробей [и др.] // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 12-13. | ru |
dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/51748 | |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БНТУ | ru |
dc.title | Метод бесконтактного измерения удельного электрического сопротивления барьерных слоев | ru |
dc.type | Working Paper | ru |