Особенности структурообразования многокомпонентных покрытий Ti–Al–B–N, полученных магнетронным распылением в вакууме
Date
2018Another Title
The features of structure formation of Ti–Al–B–N multicomponent coatings obtained by magnetron sputtering in vacuum
Bibliographic entry
Особенности структурообразования многокомпонентных покрытий Ti–Al–B–N, полученных магнетронным распылением в вакууме = The features of structure formation of Ti–Al–B–N multicomponent coatings obtained by magnetron sputtering in vacuum / Я. Ю. Мартинкевич [и др.] // Современные методы и технологии создания и обработки материалов : материалы XIII Международной научно-технической конференции, 12-14 сентября 2018 г. [Электронный ресурс]. – Минск : [б. и.], 2018.
Abstract
Исследованы особенности фазо- и структурообразования покрытий на основе системы (Ti,Al,B)N, а также влияние парциального давления азота на микротвердость и термостойкость данных покрытий. Установлено, что в сравнении с покрытиями системы (Ti,Al)N дополнительное введение в состав мишени соединения бора TiB2 увеличивает термостойкость покрытий при нагреве в окислительной среде вплоть до температуры 800 °С при сохранении значений микротвердости.
Abstract in another language
The features of phase and structure formation of coatings based on the system (Ti, Al, B)N and the influence of the technological deposition parameters on the microhardness and thermal stability of these coatings are investigated. It has been found that in comparison with the coatings (Ti, Al)N the addition of a TiB2 boron compound to the target composition
increases the thermal stability of the coatings when heated in an oxidizing environment up to a temperature of 800 °C while maintaining the microhardness.