dc.contributor.author | Посылкина, О. И. | |
dc.contributor.author | Лученок, А. Р. | |
dc.contributor.author | Романов, И. М. | |
dc.contributor.author | Харлан, Ю. А. | |
dc.coverage.spatial | Минск | ru |
dc.date.accessioned | 2019-04-18T07:27:29Z | |
dc.date.available | 2019-04-18T07:27:29Z | |
dc.date.issued | 2018 | |
dc.identifier.citation | Исследование особенностей формирования многокомпонентных Ti – Al – N покрытий способом магнетронного распыления композиционных мишеней различного состава = Investigation of formation features of multicomponent Ti – Al – N coatings by magnetron sputtering method of different composition targets / О. И. Посылкина [и др.] // Современные методы и технологии создания и обработки материалов : материалы XIII Международной научно-технической конференции, 12-14 сентября 2018 г. [Электронный ресурс]. – Минск : [б. и.], 2018. | ru |
dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/51913 | |
dc.description.abstract | Приведены результаты исследования формирования многокомпонентных покрытий Ti – Al – N методом магнетронного распыления. Установлены особенности работы магнетронной системы при использовании мишеней Ti + Al и TiN + Al. Определены оптимальные технологические параметры осаждения покрытий Ti – Al – N с высокими значениями микротвердости (34–37 ГПа), низким значением коэффициента трения (0,4–0,45). Показано, что покрытия сохраняют высокую микротвердость при нагреве до 600 °С. | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.title | Исследование особенностей формирования многокомпонентных Ti – Al – N покрытий способом магнетронного распыления композиционных мишеней различного состава | ru |
dc.title.alternative | Investigation of formation features of multicomponent Ti – Al – N coatings by magnetron sputtering method of different composition targets | ru |
dc.type | Working Paper | ru |
local.description.annotation | The research results on the formation of multicomponent Ti – Al – N coatings by magnetron sputtering are presented. Specific features of the magnetron system operation are determined when using Ti + Al and TiN + Al targets. Optimal technological parameters of deposition of Ti – Al – N coatings with high microhardnes (34–37 GPa), low friction coefficient (0.4–0.45) were defined. It is shown that coatings maintain high microhardness when heated to 600 °C. | ru |