Разработка высоковакуумной системы на базе диффузионного насоса для нанесения тонкопленочных покрытий методом магнетронного распыления

dc.contributor.author	Янчик, А. Д.
dc.date.accessioned	2019-04-18T12:33:45Z
dc.date.available	2019-04-18T12:33:45Z
dc.date.issued	2019
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/51963
dc.subject	Реферат	ru
dc.title	Разработка высоковакуумной системы на базе диффузионного насоса для нанесения тонкопленочных покрытий методом магнетронного распыления	ru