Проектирование технологической оснастки для нанесения равномерных по толщине покрытий магнетронным методом

Authors

Асташко, С. С.

Date

2019

URI

https://rep.bntu.by/handle/data/51964

View/Open

Реферат (1.176Mb)

Collections

• Вакуумная и компрессорная техника[129]

Show full item record