Формирование пленок sioc ионно–лучевым распылением составной мишени sio2/c
Bibliographic entry
Телеш, Е. В. Формирование пленок sioc ионно–лучевым распылением составной мишени sio2/c / Е. В. Телеш, М. В. Дуксин // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 229-230.