Контроль физических параметров приповерхностных слоев полупроводниковых пластин методом фотостимулированной з ондовой электрометрии
Bibliographic entry
Жарин, А. Л. Контроль физических параметров приповерхностных слоев полупроводниковых пластин методом фотостимулированной з ондовой электрометрии/ А. Л. Жарин // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 16-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2018. - Т. 2. - С. 166.