Мехатронные системы параллельной кинематики для фотолитографического оборудования
| dc.contributor.author | Карпович, С. Е. | |
| dc.contributor.author | Кузнецов, В. В. | |
| dc.contributor.author | Войтов, А. Ю. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-04-26T06:39:23Z | |
| dc.date.available | 2019-04-26T06:39:23Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.identifier.citation | Карпович, С. Е. Мехатронные системы параллельной кинематики для фотолитографического оборудования / С. Е. Карпович, В. В. Кузнецов, А. Ю. Войтов // Теоретическая и прикладная механика [Электронный ресурс] : международный научно-технический сборник / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. В. Чигарев (пред. редкол.). – Минск : БНТУ, 2019. – Вып. 34. – С. 17-22. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/52194 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Мехатронные системы параллельной кинематики для фотолитографического оборудования | ru |
| dc.type | Article | ru |
