Поляковский, В. В. Построение и алгоритмизация транспортного модуля технологического оборудования микро- и наноэлектроники / В. В. Поляковский // Теоретическая и прикладная механика [Электронный ресурс] : международный научно-технический сборник / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. В. Чигарев (пред. редкол.). – Минск : БНТУ, 2019. – Вып. 34. – С. 222-226.