Методы контроля оригиналов топологии полупроводниковых приборов на фотошаблонах, основанные на моделировании процессов фотолитографии
| dc.contributor.author | Титко, Д. С. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-04-29T07:16:38Z | |
| dc.date.available | 2019-04-29T07:16:38Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.identifier.citation | Титко, Д. С. Методы контроля оригиналов топологии полупроводниковых приборов на фотошаблонах, основанные на моделировании процессов фотолитографии / Д. С. Титко // Теоретическая и прикладная механика [Электронный ресурс] : международный научно-технический сборник / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. В. Чигарев (пред. редкол.). – Минск : БНТУ, 2019. – Вып. 34. – С. 242-248. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/52255 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Методы контроля оригиналов топологии полупроводниковых приборов на фотошаблонах, основанные на моделировании процессов фотолитографии | ru |
| dc.type | Article | ru |
