Установка для измерения спектров электролюминесценции диэлектрических структур на основе оксида и нитрида кремния в системе электролит-диэлектрик-полупроводник
| dc.contributor.author | Романов, И. А. | |
| dc.contributor.author | Комаров, Ф. Ф. | |
| dc.contributor.author | Власукова, Л. А. | |
| dc.contributor.author | Пархоменко, И. Н. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-05-02T08:55:40Z | |
| dc.date.available | 2019-05-02T08:55:40Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Установка для измерения спектров электролюминесценции диэлектрических структур на основе оксида и нитрида кремния в системе электролит-диэлектрик-полупроводник / И. А. Романов [и др.] // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 402-404. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/52395 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Установка для измерения спектров электролюминесценции диэлектрических структур на основе оксида и нитрида кремния в системе электролит-диэлектрик-полупроводник | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
