Полупроводниковые сенсорные устройства на кремниевых подложках
dc.contributor.author | Горбаченя, К. Н. | |
dc.contributor.author | Кисель, В. Э. | |
dc.contributor.author | Ясюкевич, А. С. | |
dc.contributor.author | Дейнека, Р. В. | |
dc.contributor.author | Мальцев, В. В. | |
dc.contributor.author | Леонюк, Н. И. | |
dc.contributor.author | Кулешов, Н. В. | |
dc.contributor.author | Кулешов, Н. В. | |
dc.coverage.spatial | Минск | ru |
dc.date.accessioned | 2019-05-10T08:09:50Z | |
dc.date.available | 2019-05-10T08:09:50Z | |
dc.date.issued | 2018 | |
dc.identifier.citation | Полупроводниковые сенсорные устройства на кремниевых подложках / К. Н. Горбаченя [и др.] // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 505-506. | ru |
dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/52524 | |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БНТУ | ru |
dc.title | Полупроводниковые сенсорные устройства на кремниевых подложках | ru |
dc.type | Working Paper | ru |