Show simple item record

dc.contributor.authorТихоновец, Е. С.
dc.contributor.authorФолынсков, Д. И.
dc.contributor.authorШадурская, Л. И.
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2019-08-21T09:28:34Z
dc.date.available2019-08-21T09:28:34Z
dc.date.issued2019
dc.identifier.citationТихоновец, Е. С. Метод контроля дефектов в эпитаксиальных структурах кремния / Е. С. Тихоновец, Д. И. Фолынсков, Л. И. Шадурская // Новые направления развития приборостроения : материалы 12-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17−19 апреля 2019 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 78-79.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/56143
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleМетод контроля дефектов в эпитаксиальных структурах кремнияru
dc.typeWorking Paperru


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record