Кохнюк, С. А. Основы электронно-лучевой литографии / С. А. Кохнюк, Е. Н. Щербакова // Новые направления развития приборостроения : материалы 12-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17−19 апреля 2019 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 200-201.